气浮轴承移动台凭具有无摩擦、高精度、洁净无污染的特性，广泛应用于对运动控制要求极高的领域，尤其在半导体、精密制造、光学检测等高科技产业中发挥关键作用。
1.采用先进的气体静压轴承技术，使运动部件悬浮于气体薄膜之上，彻底消除固体摩擦带来的磨损、发热及振动问题，实现超平稳、无卡顿的运动，极大提升运动精度与稳定性，延长设备使用寿命。
2.高刚度与承载能力：气浮系统采用磁预载，赋予运动台出色的刚度，能够在承受较大负载的同时，保持极小的变形量。
3.配备300mm直径Wafer Chuck,满足12寸Wafer装载，配备顶Pin机构，可实现与机械手的联动装载动作。
4.导轨采用优质大理石，提供高刚度、低热膨胀系数，保证整体平台可靠性。

​气浮轴承移动台技术优势总结

气浮轴承移动台使用场景：
一、半导体制造与检测​​
1.晶圆加工与检测​​
光刻机对准：在EUV光刻机中实现纳米级（<5nm）定位，避免机械振动影响图案精度。
​缺陷检测：配合AOI（自动光学检测）系统扫描晶圆表面，检测28nm以下制程的微观缺陷。
晶圆传输：在Class 1洁净环境中搬运300mm/450mm晶圆，无颗粒污染风险。
2.先进封装​​
Chiplet异构集成：支持2.5D/3D封装中的多芯片高精度对准（±1μm）。
TSV硅通孔检测：通过气浮平台稳定移动，实现垂直通孔的微观成像。
​​二、精密光学与光电领域​​
1.光学元件加工​​
自由曲面抛光：用于航天级透镜、AR/VR光学模组的超光滑表面加工（粗糙度<0.1nm）。
离轴抛物面镜检测：通过多自由度气浮台调整光学路径，消除装夹应力。
2.激光系统​​
高能激光校准：在惯性约束核聚变（ICF）装置中精准定位靶材。
光刻机物镜调校：调节Zeiss/ASML光学模块的波像差至λ/50（λ=632nm）。
三、生物医疗与纳米技术​​
1.生命科学仪器​​
​冷冻电镜（Cryo-EM：支撑样品台的超低温（-180℃）无振动环境，分辨率达0.3Å。
​基因测序仪：高通量DNA测序时保持载玻片纳米级平稳移动。
2.纳米操纵与计量​​
原子力显微镜（AFM：实现探针的亚埃级（0.1Å）定位扫描。
量子点组装：在量子计算机研发中精确排布半导体量子点阵列。